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为什么全世界现在只有荷兰的ASML能够制造顶级的光刻机?

时间:2021-09-27 21:19:41

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为什么全世界现在只有荷兰的ASML能够制造顶级的光刻机?

荷兰的ASML,中文翻译是阿斯麦,这个公司是全球最大的光刻机设备和服务提供商。垄断了市场80%的份额,在极紫外光(EUV)领域,目前处于垄断地位。曾经一台高端设备卖到了1亿欧元,据说今年更是卖到了5亿欧元。

荷兰是全球为数不多拥有完整半导体产业链的国家,其半导体产业年收益高达百亿欧元以上,全球超过四分之一的半导体设备来自荷兰。

首先我们应该知道目前世界上最大的光刻机制造商是荷兰ASML;1984年ASML从飞利浦独立出来,专门致力于研发光刻技术,得益于近乎完美的德国机械工艺以及世界顶级光学厂商德国蔡司镜头,再加上美国提供的光源,ASML迅速发展,到如今占到了全球光刻机总销售收入的78%;

而随着ASML的壮大,高端光刻机市场基本被垄断,Intel的晶圆工厂生产成本也日益增加,所以Intel大力扶持日本尼康以平衡ASML,而ASML独步全球的工艺水平和稳定性能最终击败尼康成为高端光刻机的王者,尼康则开始面向低端领域;如今全球最大的晶圆代工厂台积电是ASML最大的股东,三星,Intel也占有ASML的股份,垄断地位已经形成。

光刻机这种高精度光机一体化设备,研发过程是没有什么捷径可走的,精度只能一步步提升。没有一微米的基础,就不可能造90纳米的设备,没有90纳米的基础,就不可能造45纳米的设备。现在ASML可以造10纳米以内精度的设备,这个水平不是天上掉下来的,而是别人几十年一步一步逐渐积累出来的。所以才能打败美日竞争对手,占领市场。

市场化资源配置和市场化竞争,从理论上来说是不错,可惜的是这个世界上市场无法决定的东西太多了,比如说禁运,比如说技术封锁。

而且ASML有一个非常奇特的规定,那就是只有投资ASML,才能够获得优先供货权,意思就是要求他自己的客户要先投资自己才行。这样奇特的合作模式使得ASML获得了大量的资金,包括英特尔、三星、台积电、海力士都在ASML中有相当可观的股份,可以说大半个半导体行业都是ASML一家的合作伙伴,形成了庞大的利益共同体——就算是技术研发出现了失误,英特尔挤挤牙膏就好了,并不会威胁到ASML的市场占有率。

而且不仅仅是来自合作伙伴的资金支持,更多的还有技术支持。比如说刚刚提到了ASML在EUV光刻技术上拥有世界第二的专利申请量,而世界第一是德国的蔡司公司,第三是韩国的海力士公司,而这两家公司都是ASML的合作伙伴。

其实这些年来,国内早就有设备厂商,以及研究机构在对光刻机进行研发。如上海微电子、中电科四十五所、中电科四十八所等。上海微电子,则研发出了中端的投影式光刻机。所以我们也要知道并不是中国人自己不研制光刻机,尤其是研制前道光刻机,而是因为在研制出达到国际一流的光刻机中,所面临的困难既太多,又太难。幸运地是,初,光刻机核心子系统双工件台系统样机研发项目通过内部验收,为我国自主研发65nm至28nm双工件干台式及浸没式光刻机奠定了基础”。可以相信,在未来,国内的光刻机产业能够给国人带来一个接一个的惊喜。

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