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在7纳米工艺的竞争中，台积电以EUV技术拔得头筹。三星作为台积电最大的对手，近来做法也是非常激进：三星官方最近给出的时间表，6nm 6LPP将在今年下半年如期投入量产，5nm 5LPE今年内完成流片、明年上半年量产，4nm 4LPE也会在年内设计完毕。
按照三星给出的技术路线图，6LPP、5LPE、4LPE其实都是在7LPP工艺基础上演化而来的，要一直到3nm(3GAE/3GAP)才会是全新的设计，预计会使用全新的结构和材料。5LPE会在性能、功耗、核心面积上进一步提升，相比于6nm LPP功耗更低、面积更小、晶体管密度更高。不过核心IP还是7LPP的那一套，不过由于EUV应用更深入，三星预计6LPP、5LPE工艺的应用范围也会更广，而且5nm明年迅速就会成为主流。
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