1.X射线产生
原子结构由原子核及核外电子组成，每个核外电子都以特定的能量在固定轨道上运行。当能量高于原子内层电子结合能的高能X射线与原子发生碰撞时，驱逐一个内层电子（如：K层）而出现一个空穴，使整个原子结构处于不稳定状态，较外层电子（如：L层）就会自发地跃迁到内层来填充这个空穴。不同壳层之间存在能量差（如：ΔE=EL-EK），当跃迁过程中能量差以二次X射线的形式释放出来时就可以发射特征X射线荧光。
一般原子序数小于55的元素常用K系谱线作为分析线，原子数大于55的元素，常选用L系作为分析线
2.荧光分析原理
每一种元素都有其特定波长（或能量）的特征X射线。由Moseley定律可知，元素的荧光X射线的波长（λ）随元素的原子序数（Z）增加，有规律地向短波方向移动。
(1/λ)1/2 = K(Z-S)
上式中K、S为常数，随谱系（L、K、M、N）而定。通过测定样品中荧光X射线的波长，就可以确定样品中元素的种类信息。同时，通过测定荧光X射线的荧光强度从而推算出元素的浓度
3.荧光光谱仪组成
荧光光谱仪包括：荧光激发器、滤光片、样品杯、准直器、分光晶体（根据波长范围而选择不同类型的晶体）、检测器、脉冲分线器、计算机。
